Um eine leckdichte UHV-Dichtung zwischen zwei zusammengesetzten Flanschen herzustellen, ist eine Dichtung erforderlich. Als Dichtungsmaterial wird normalerweise OFHC (sauerstofffreies Kupfer mit hoher Leitfähigkeit) verwendet, da es sehr sauber ist, leicht geformt werden kann, einen weiten Temperaturbereich aufweist und eine geringe Ausgasrate aufweist.
